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发明名称 Lösung zum Ätzen von Molybden oder Wolfram mit einem nahezu neutralen pH-Wert und Verfahren zu deren Verwendung.
摘要
申请公布号 DE69110348(T2) 申请公布日期 1996.01.25
申请号 DE19916010348T 申请日期 1991.03.29
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y. 10504, US 发明人 DAVID, LAWRENCE DANIEL, WAPPINGERS FALLS, NEW YORK 12590-3646, US
分类号 C23F1/26;C23F1/14;C23F1/38;C23F1/46;(IPC1-7):C23F1/14 主分类号 C23F1/26
代理机构 代理人
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