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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SILICON CARBIDE FIELD EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 EP0693222(A1) 申请公布日期 1996.01.24
申请号 EP19940907248 申请日期 1994.01.20
申请人 NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY 发明人 BALIGA, BANTVAL, JAYANT;BHATNAGAR, MOHIT
分类号 H01L21/04;H01L29/24;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/34;H01L21/425;H01L21/336 主分类号 H01L21/04
代理机构 代理人
主权项
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