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经营范围
发明名称
Implantation method
摘要
申请公布号
GB2291536(A)
申请公布日期
1996.01.24
申请号
GB19950014305
申请日期
1995.07.13
申请人
* NEC CORPORATION
发明人
HIROSHI * ITOH
分类号
H01L21/28;H01L21/265;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/265
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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