发明名称 |
Stress isolated semiconductive pressure sensor. |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0676628(A3) |
申请公布日期 |
1996.01.24 |
申请号 |
EP19950104487 |
申请日期 |
1995.03.27 |
申请人 |
MOTOROLA, INC. |
发明人 |
BROWN, CLEM H.;VOWLES, DAVID L. |
分类号 |
G01L9/08;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/06 |
主分类号 |
G01L9/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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