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发明名称 Apparatus and method for coating the inside of a hollow object by microwave-assisted plasma CVD
摘要
申请公布号 EP0568049(B1) 申请公布日期 1996.01.24
申请号 EP19930106914 申请日期 1993.04.28
申请人 MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E.V. 发明人 WILHELM, ROLF, PROF. DR.;MOELLER, WOLFHARD, PROF. DR.;HYTRY, RONNY
分类号 C23C16/04;C23C16/511;C23C16/515;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/04;C23C16/50 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人
主权项
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