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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR SUBSTANCE TREATMENT
摘要
申请公布号 JPH0822979(A) 申请公布日期 1996.01.23
申请号 JP19940177735 申请日期 1994.07.07
申请人 NEC CORP 发明人 TERAOKA ARITONO
分类号 H05H1/46;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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