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发明名称 PATTERNING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0823152(A) 申请公布日期 1996.01.23
申请号 JP19940157215 申请日期 1994.07.08
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP 发明人 UCHIDA HIROTO;YONEZAWA MASA;SOYAMA NOBUYUKI;ATSUGI TSUTOMU;OGI KATSUMI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H05K3/06;H05K3/28;(IPC1-7):H05K3/06;H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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