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发明名称 PLASMA PROCESSING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH0822980(A) 申请公布日期 1996.01.23
申请号 JP19940179568 申请日期 1994.07.06
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 SASAMURA YOSHITAKA
分类号 H05H1/46;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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