发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0822987(A) 申请公布日期 1996.01.23
申请号 JP19940153625 申请日期 1994.07.05
申请人 ASAHI CHEM IND CO LTD 发明人 DOI ICHIRO;FUKUMOTO HIROBUMI
分类号 H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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