发明名称 |
CONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0822998(A) |
申请公布日期 |
1996.01.23 |
申请号 |
JP19940154717 |
申请日期 |
1994.07.06 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
OKU YUUKI;MIYAKUNI SHINICHI;KASAI NOBUYUKI;KONO YASUTAKA |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3213;H01L21/331;H01L21/338;H01L29/08;H01L29/205;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/47;H01L29/73;H01L29/737;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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