发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING MULTILAYER INTERCONNECT AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0823028(A) 申请公布日期 1996.01.23
申请号 JP19940153722 申请日期 1994.07.05
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HARADA YUSUKE
分类号 H01L23/522;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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