发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0822967(A) |
申请公布日期 |
1996.01.23 |
申请号 |
JP19940157196 |
申请日期 |
1994.07.08 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
NISHIWAKI TORU;KISHIDA TAKENOBU |
分类号 |
C23C14/34;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/318;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/320 |
主分类号 |
C23C14/34 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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