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发明名称 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION METHOD
摘要
申请公布号 JPH0822959(A) 申请公布日期 1996.01.23
申请号 JP19940154538 申请日期 1994.07.06
申请人 TOKUYAMA CERAMICS KK 发明人 MIYAMOTO TOSHIKAZU
分类号 H01L21/205;C23C16/24;C30B25/14;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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