发明名称 涂膜之处理方法及处理装置
摘要 本发明系关于,在半导体元件或LCD基板等之制造工程中,于晶圆或LCD玻璃板等的被涂抹物表面所涂抹之例如防蚀膜等之涂膜,予以加热乾燥处理之涂膜处理方法及处理装置。该涂膜处理方法,系藉由旋转涂布,而对涂于基板上之防蚀涂膜进行处理;主要具有,第1加热工程,该第1加热工程,系于基板上涂布防蚀剂而形成涂膜,在涂膜中所含之溶剂消失前,将基板搬入溶剂之过饱和环境中,使涂膜之黏性下降,且在有足够量之溶剂继续存在于涂膜中使涂膜流动之温度范围内,将基板加热者;及第2加热工程,该第2加热工程,系将基板从溶剂之过饱和环境中搬出,为了使含于涂膜中之溶剂挥发,以比上述第1加热工程温度为高之温度范围,对基板加热。
申请公布号 TW268905 申请公布日期 1996.01.21
申请号 TW083104466 申请日期 1994.05.17
申请人 东京电子股份有限公司 发明人 户岛孝之;青山亨
分类号 B05D5/02;H01L21/68 主分类号 B05D5/02
代理机构 代理人 林敏生 台北巿南京东路二段一二五号七楼伟成第一大楼
主权项 4. 如申请专利范围第1项所述之一种将材料碾碎的 方法, 其特征在于要研细的新鲜材料之相对湿度,在进入 间隙之 前,大致被烘乾到一个可调整的0.5-2.0%之含水量。5 . 如申请专利范围第1项所述之一种将材料碾碎的 方法, 其特征在于:一部分将要研细的新鲜材料被乾燥处 理,将 其湿度含量控制在<0.5%另一部分将要研细的新鲜 材料则 不经过乾燥处理,然后将这两种将要研细的新鲜材 料一起 送往滚筒间隙;其中这些将要研细的新鲜材料之数 量可以 选择适当的比例,使其混合后的材料之含水量在进 入滚筒 间隙之前,控制在0.5-2.0%之间。6. 如申请专利范围 第1项所述之一种将材料碾碎的方法, 其特征在于需要研磨之非常乾之新鲜金属砂粒,其 中该材 料之湿度含量,在加入水份后增加至大约0.3至3.0% 。7. 如申请专利范围第6项所述之一种材料碾碎的 方法,其 特征在于在滚筒歪斜的情况下,将要研细的新鲜材 料在送 往滚筒间隙之纵向区域的最窄处时,其含水量呈暂 时性地 增加。8. 如申请专利范围第1项所述之一种将材料 碾碎的方法, 其特征在于由于滚筒振动所衍生出来的测量信号, 被用来 控制瞬间所加入的水量;在此情况下,振动高度的 测量値 也被处理,并做为含水量之整体控制的一部分,也 同时做 为被送往滚筒间隙的新鲜材料之含水量的一改变 因子。9. 如申请专利范围第1项所述之一种将材料 碾碎的方法, 其中部份已被碾碎的材料被送回和将要研细的材 料混合, 其特征在于整个需要研细的材料是由新鲜的材料 和回送的 材料所组成,它们在滚筒间隙入口之前的混合含水 量是在 0.5-2.0%之间。其中该回送之需要研磨之材料,可能 细由 大量结块之材料颗粒所组成。10. 如申请专利范围 第9项所述之一种将材料碾碎的方法 ,其特征在于要研细的回送材料是由部分材料粉粒 所结成 的板状小块所组成,它们是来自碾碎作业分离区的 下游区 域。11. 如申请专利范围第10项所述之一种将材料 碾碎的方法 ,其特征在于通过碾碎滚筒的材料在一预先设定的 产量能 力下,要研细的新鲜材料的含水量和输送数量,系 依所回 送的板状小块和浮碴之数量和含水量所构成之函 数来控制 。12. 如申请专利范围第11项所述之一种将材料碾 碎的方法 ,其特征在于回送浮碴的含水量被设定在≦0.5%,而 回送 的板状小块之含水量则与那些输送到滚筒间隙要 进行研细 的材料之含水量大致相当。13. 如申请专利范围第 11项所述之一种将材料碾碎的方法 ,其特征在于回送的板状小块之数量和回送的浮碴 与要研 细的新鲜材料之间的比率大致维持为一个常数。 14. 如申请专利范围第9项所述之一种将材料碾碎 的方法 ,其特征在于要研细的回送材料和要研细的新鲜材 料等两 种不同物料流在滚筒间隙前迅速地混合,其混合方 式系使 含水量较高的材料在一侧流动,而较乾的材料则在 另一侧 流动,彼此流向对方而混合在一起。15. 如申请专 利范围第1项所述之一种将材料碾碎的方法 ,其特征在于要研细的材料是冶金砂料。16. 一种 将材料碾碎的装置,特别是用于碾碎砂状的材料 如冶金用砂的装置,包括有一个料床式滚筒碾粉机 (1), 具有一个碾粉机入口(2),两支彼此以高压力压向对 方而 相对旋转的滚筒(3,4),以及一个在该两支滚筒之间 所形 成的间隙(5);其特征在于要研细的新鲜材料在送往 碾粉 机入口(2)之前的处理,其处理方式使得送到滚筒间 隙(5) 的材料之含水量介于0.3-3.0%之间,而最佳的范围则 是在 0.5-2.0%之间。17. 如申请专利范围第16项所述之一 种将材料碾碎的方法 ,其特征在于在该磨床入口(2)处,设置有一乾燥器(7 ), 用以乾燥需要研磨之高湿度材料,其中设置有旁通 管(18) ,以供无需乾燥而需要研磨之新鲜材料使用。18. 如申请专利范围第17项所述之一种将材料碾碎的 方法 ,其特征在于具备有一条供未烘乾之新鲜材料旁通 的导管 (8)如乾燥器(7)配合使用;在碾粉机入口(2)之前的区 域 ,这条旁通的导管(8)和来自乾燥器的乾燥材料导管 (9)滙 合。19. 如申请专利范围第16项所述之一种将材料 碾碎的方法 ,配备有个用来分离经过料床式滚筒碾粉机(1)轧碎 的材 料之分离装置(11),其中一条浮渣导管(14)系用来回 收在 送往碾粉机入口(2)分离装置内沉淀下来尺寸过大 的材料 ;其特征在于:有一条至少可回送部份来自料床式 滚筒碾 粉机(1)的板状小块材料至碾粉机入口(2)的结块材 料导管 (15);该结块材料导管(15)系由自料床式滚筒碾粉机( 1) 导向分离装置(11)的材料导管(12)分支出来。20. 如 申请专利范围第19项所述之一种将材料碾碎的装 置 ,其特征在于具备至少是供刚送入要研细的材料(6) 、回 送浮渣(14)、碾粉机入口(20)处所有要研细的材料( 12)所 使用的含水量测定装置(21......25),以及一个连接在 含 水量测定装置上的含水量控制装置(20);传自这些 含水量 测定装置的含水量信号被处理成为控制信号,用来 控制预 设定的混合含水量。图示简单说明: 图1所示系依据本发明之碾碎装置的一个简化的流 程图; 图2所示系一种相同的流程图,图中所示系一具装 配了一
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