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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ACCELERATION SENSOR
摘要
申请公布号 JPH0818066(A) 申请公布日期 1996.01.19
申请号 JP19950105024 申请日期 1995.04.28
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUZAKI TADAHIRO
分类号 G01P15/12;H01L21/306;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 主分类号 G01P15/12
代理机构 代理人
主权项
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