发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0817824(A) 申请公布日期 1996.01.19
申请号 JP19940146340 申请日期 1994.06.28
申请人 NEC CORP 发明人 FURUYA AKIRA
分类号 C23C14/06;C23C16/06;C23C16/34;H01L21/3205;H01L23/12;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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