| 发明名称 |
NON-CONTACT TYPE SHEET-RESISTANCE MEASURING METHOD AND DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0815343(A) |
申请公布日期 |
1996.01.19 |
| 申请号 |
JP19950129946 |
申请日期 |
1995.05.29 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
ROJIYAA REONARUDO BAAKIRU |
| 分类号 |
G01R27/02;G01R27/26;G01R31/265;H01L21/66;(IPC1-7):G01R27/02 |
主分类号 |
G01R27/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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