发明名称 |
MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
KR960001175(B1) |
申请公布日期 |
1996.01.19 |
申请号 |
KR19870005761 |
申请日期 |
1987.06.08 |
申请人 |
TOSHIBA K.K. |
发明人 |
MORITA, SHIKERU;KAKUMU, MASAKAZU |
分类号 |
H01L21/316;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 |
主分类号 |
H01L21/316 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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