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发明名称 METHOD FOR WASHING SILICON WAFER
摘要
申请公布号 JPH0817776(A) 申请公布日期 1996.01.19
申请号 JP19940173431 申请日期 1994.07.01
申请人 MITSUBISHI MATERIALS SHILICON CORP;MITSUBISHI MATERIALS CORP 发明人 OSADA TATSUYA;KAJIMOTO MAKOTO;KINUGAWA KOJI;ENDO MITSUHIRO;YOSHIMI TOSHIHIRO
分类号 H01L21/308;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
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