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发明名称
MANUFACTURE OF EPITAXIAL SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号
JPH0817750(A)
申请公布日期
1996.01.19
申请号
JP19940171848
申请日期
1994.06.29
申请人
SUMITOMO SITIX CORP
发明人
ADACHI HISASHI
分类号
H01L21/205;H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
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