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发明名称 TRANSFER DEVICE OF WAFER
摘要
申请公布号 JPH0817893(A) 申请公布日期 1996.01.19
申请号 JP19940166324 申请日期 1994.06.24
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 KAWASAKI ATSUSHI
分类号 B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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