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发明名称 SUBSTRATE HEAT-TREATMENT DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0817811(A) 申请公布日期 1996.01.19
申请号 JP19940149592 申请日期 1994.06.30
申请人 ROHM CO LTD 发明人 KAKUMOTO KENICHI
分类号 H01L21/22;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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