发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING DECREASED TIME DEPENDENCY DIELECTRIC BREAKDOWN
摘要
申请公布号 JPH0818045(A) 申请公布日期 1996.01.19
申请号 JP19910082700 申请日期 1991.04.15
申请人 DIGITAL EQUIP CORP <DEC> 发明人 BURUUSU JIEFURII FUITSUSHIYUBAIN;BURAIAN SHIEIMASU DOIRU
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/167;H01L29/49;H01L29/51;H01L29/94;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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