发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0817919(A) |
申请公布日期 |
1996.01.19 |
申请号 |
JP19940147747 |
申请日期 |
1994.06.29 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SUZUKI MASAYASU;ISHIDA SHINICHI;NISHIHARA SHINJI;ABE HIROMI |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/318;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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