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发明名称 METHOD FOR WASHING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0817775(A) 申请公布日期 1996.01.19
申请号 JP19940146266 申请日期 1994.06.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KAWAHARA HIROYUKI
分类号 C11D7/04;C11D7/06;C11D7/18;H01L21/304;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 C11D7/04
代理机构 代理人
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