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发明名称 SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号 JPH0817763(A) 申请公布日期 1996.01.19
申请号 JP19940168778 申请日期 1994.06.28
申请人 RIYOUKA MASSEY KK 发明人 KAGITANI MASARU;TAMAI HIROSHI
分类号 C23C14/34;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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