发明名称 INSPECTION METHOD AND INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0814857(A) 申请公布日期 1996.01.19
申请号 JP19940165966 申请日期 1994.06.23
申请人 SONY CORP 发明人 MOKUDA SATORU;SHIBA TAKAKANE;KIJIMUTA AKIRA
分类号 G01B11/24;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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