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发明名称 Verfahren zum Herstellen eines Dünnfilm-Transistors.
摘要
申请公布号 DE69115118(D1) 申请公布日期 1996.01.18
申请号 DE19916015118 申请日期 1991.05.16
申请人 SHARP K.K., OSAKA, JP 发明人 TARUI, KEIJI, KITAKATSURAGI-GUN, NARA-KEN, JP;MORITA, TATSUO, SORAKU-GUN, KYOTO, JP;TSUCHIMOTO, SHUHEI, KITAKATSURAGI-GUN, NARA-KEN, JP
分类号 H01L21/3213;H01L21/336;H01L21/77;H01L21/84;(IPC1-7):H01L21/84;H01L29/78 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
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