发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Aluminiumkontakts.
摘要
申请公布号 DE69300918(D1) 申请公布日期 1996.01.18
申请号 DE19936000918 申请日期 1993.01.15
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS, INC., CARROLLTON, TEX., US 发明人 CHEN, FUSEN E., MILPITAS, CALIFORNIA 95035, US;LIOU, FU-TAI, CARROLLTON, TEXAS 75010, US;DIXIT, GIRISH A., DALLAS, TEXAS 75287, US;WEI, CHE-CHIA, PLANO, TEXAS 75093, US
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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