发明名称 GAS HEATER FOR PROCESSING GASES.
摘要
申请公布号 EP0666972(A4) 申请公布日期 1996.01.17
申请号 EP19940900500 申请日期 1993.11.03
申请人 WATKINS-JOHNSON COMPANY 发明人 COLLINS, CRAIG C.;AHLSTROM, ERIC, A.
分类号 B01J19/00;F24H3/04;H01L21/205;(IPC1-7):F24H1/10 主分类号 B01J19/00
代理机构 代理人
主权项
地址