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发明名称 DEPOSITION HEATERS
摘要
申请公布号 EP0491811(B1) 申请公布日期 1996.01.17
申请号 EP19900914089 申请日期 1990.09.07
申请人 CHOW, LOREN A. 发明人 CHOW, LOREN A.
分类号 C23C14/24;F27B14/00;F27B14/10;F27B14/12;F27B14/14;F27D99/00;(IPC1-7):F27B14/12 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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