发明名称 |
Method for forming deep resist patterns |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2291207(A) |
申请公布日期 |
1996.01.17 |
申请号 |
GB19950014185 |
申请日期 |
1995.07.12 |
申请人 |
* HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO. LTD. |
发明人 |
SANG MAN * BAE;KI HO * BAIK |
分类号 |
G03F7/11;G03F7/004;G03F7/09;G03F7/095;G03F7/20;G03F7/26;G03F7/40;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/00 |
主分类号 |
G03F7/11 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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