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发明名称 Kontaktierungsprozeß
摘要
申请公布号 DE4424420(A1) 申请公布日期 1996.01.18
申请号 DE19944424420 申请日期 1994.07.12
申请人 TEMIC TELEFUNKEN MICROELECTRONIC GMBH, 74072 HEILBRONN, DE 发明人 HARMEL, HARTMUT, DIPL.-PHYS., 34369 HOFGEISMAR, DE;KELLNER-WERDEHAUSEN, UWE, DIPL.-ING., 91362 PRETZFELD, DE
分类号 H01L21/3205;H01L21/331;(IPC1-7):H01L21/283;H01L21/32;H01L21/328;H01L21/334;H01L21/60 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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