发明名称 曝光装置
摘要 在彩色阴极射线管的面板(2)的内侧面使荧光屏曝光的曝光装置上,用于晒像的光线(19)从光源部(18)发出,经光学补偿系统的构件(30)射入使光线轨迹近似于电子束轨迹的投射透镜系统(20),再经过荫罩的开孔射入支承台(17)上的面板(2)内侧的感光层(26)。光学补偿构件(30)具有相对于入射面倾斜的光出射面,并由驱动部驱动,以从光源部向感光层发射的光线的光轴(28)为中心旋转,从而光源部(18)的像旋转移动,在感光层上形成接近正圆的荫罩开孔的图形。
申请公布号 CN1115114A 申请公布日期 1996.01.17
申请号 CN95103981.4 申请日期 1995.03.31
申请人 东芝株式会社 发明人 冈田忠典;桑原雄二
分类号 H01J9/227;G03F7/20 主分类号 H01J9/227
代理机构 上海专利商标事务所 代理人 沈昭坤
主权项 1.一种使装在阴极射线管面板(2)内侧的荫罩(1)的开孔(10)所对应的图形曝光于面板(2)内侧面上所涂的感光层(26)形成荧光屏的曝光装置,其特征在于,包括:支持阴极射线管面板(2)的手段;发射晒图得出对应于与面板(2)的内侧面的感光层(26)相向配置的荫罩(1)的开孔(10)的图形的光线(19)的光源部(18);包含配置于该光源部(18)与荫罩(1)之间,作为由所述光源部(18)向感光层(26)射出的光线(19)通过的光学补偿构件(30),具有光线入射的入射面(30A)和光线出射的出射面(30B),出射面相对于入射面倾斜配置,从入射面(30A)上的不同入射位置入射的光线以不同的光程通过光学补偿构件(30)从出射面(30B)出射的光学补偿构件的光学系统;使该光学补偿构件(30)以从上述光源部(18)向感光层(26)射出的光线(19)的光轴(28)为中心轴旋转的驱动部。
地址 日本神奈川县
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