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发明名称 ELIMINATION OF ETCH STOP UNDERCUT
摘要
申请公布号 EP0542746(B1) 申请公布日期 1996.01.17
申请号 EP19900917230 申请日期 1990.11.07
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CRONIN, JOHN, E.;LAKRITZ, MARK, N.
分类号 H01L21/306;H01L21/311;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/306;C23F1/02 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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