Ion beam assisted method of producing a diamondlike carbon coating,申请号EP19950102378-传众专利搜索

发明名称	Ion beam assisted method of producing a diamondlike carbon coating
摘要	<p>Fullerene precursor vapour is obtd. pref. by thermal sublimation. A pref. ion beam comprises N, Ar, F, B, S or a metal and has an energy 5-50 keV.</p>
申请公布号	EP0692552(A1)	申请公布日期	1996.01.17
申请号	EP19950102378	申请日期	1995.02.21
申请人	SOUTHWEST RESEARCH INSTITUTE	发明人	DEARNALEY, GEOFFREY
分类号	C23C14/06;C23C14/22;(IPC1-7):C23C14/06;C23C16/48;C23C16/26	主分类号	C23C14/06
代理机构		代理人
主权项
地址