微型单片可变电气器件以及含有这类器件的装置

摘要

一微型、可变电气器件，诸如一电容器(40a)，包含一基本的DMD SLM(40′)，DMD SLM包括一衬底(43)和一构件(145)，构件与衬底相隔开，为可以移动，衬底安装在适当的设施(42，44)上。一控制信号(102)加至可动构件(145)以在它与衬底(43)或一相关的控制电极(46a)之间产生一电场。此电场使构件(145)向着或背着衬底(43)或一相关的输出电极(46b)移动，以有选择地调节它们之间的间隔。电场由衬底(43)相关联的寻址电路(45)产生。

主权项

1. 用于影响一输入信号的一微型、单片、可变电容器，其特征在于包括：(ⅰ)一衬底，(ⅱ)用单片技术制成的一导电构件，它藉衬底做出并与衬底隔开，电容器的各自的极板为该构件和衬底，(ⅲ)安装构件的装置，安装构件，使它的一部分向衬底或离开衬底偏转，并用来在构件的一部分偏转出其正常位置时存储能量，该存储的能量有使构件的偏转部分回至其正常位置的倾向，(ⅳ)用单片技术制成的一控制电极，它对于衬底和构件来做，沿着构件的一部分离开正常位置的偏转方向使电极与构件隔开，对于控制电极和构件可以在它们之间加一控制信号，该信号足以在它们之间产生一电场来使构件的一部分偏转出其正常位置从而改变电容器的电容，以及(ⅴ)把输入信号加至电容器的装置。