发明名称
摘要
申请公布号 JPH084136(B2) 申请公布日期 1996.01.17
申请号 JP19870326178 申请日期 1987.12.22
申请人 发明人
分类号 H01L29/762;H01L21/339;H01L29/768;(IPC1-7):H01L29/762 主分类号 H01L29/762
代理机构 代理人
主权项
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