发明名称
摘要
申请公布号 JPH084090(B2) 申请公布日期 1996.01.17
申请号 JP19860198814 申请日期 1986.08.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205;B23K15/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/321;H01L21/306 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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