发明名称 Laser interferometry length measuring apparatus
摘要
申请公布号 EP0469718(B1) 申请公布日期 1996.01.17
申请号 EP19910305917 申请日期 1991.06.28
申请人 KONICA CORPORATION 发明人 HOSOE, SHIGERU
分类号 G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02;G02B27/28 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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