| 发明名称 |
Detection of thickness differences in a photoresist film |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2291194(A) |
申请公布日期 |
1996.01.17 |
| 申请号 |
GB19950013910 |
申请日期 |
1995.07.07 |
| 申请人 |
* HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO. LTD. |
发明人 |
SANG MAN * BAE |
| 分类号 |
G01B21/08;G01N25/72;(IPC1-7):G01B11/30;G01B21/30 |
主分类号 |
G01B21/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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