发明名称 Device for limiting a synchrotron beam
摘要
申请公布号 GB2291326(A) 申请公布日期 1996.01.17
申请号 GB19950007636 申请日期 1995.04.12
申请人 * JENOPTIK TECHNOLOGIE GMBH 发明人 BERND * SEHER;FRANK * REUTHER;LUTZ * MULLER
分类号 G21K1/02;G03F7/20;G21K1/04;G21K3/00;G21K5/02;H01L21/027;H05H13/04;(IPC1-7):G21K1/04 主分类号 G21K1/02
代理机构 代理人
主权项
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