| 发明名称 |
DEVICE FOR SUPPLYING MATERIAL TO BE EVAPORATED TO RESISTANCE HEATING AND EVAPORATING SOURCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0813138(A) |
申请公布日期 |
1996.01.16 |
| 申请号 |
JP19940166241 |
申请日期 |
1994.06.25 |
| 申请人 |
SHOWA SHINKU:KK |
发明人 |
SAMA NORIO;SHIONO TADAHISA;ITO MAKOTO |
| 分类号 |
C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/24 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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