PROCEDIMIENTO PARA LA FORMACION DE UNA PELICULA CON DEPOSITO DE METAL, CONTENIENDO ALUMINIO COMO COMPONENTE PRINCIPAL, UTILIZANDO HIDRURO DE ALQUIL ALUMINIO.

摘要

PROCESO PARA LA FORMACION DE UNA PELICULA DE AL QUE CONTENGA SI DE GRAN CALIDAD SEGUN EL METODO CVD QUE UTILIZA UN HIBRIDO DE ALUMINIO DE ALQUILO Y UN GAS QUE CONTENGA SILICIO E HIDROGENO. SE TRATA DE UN EXCELENTE PROCESO PARA LA FORMACION DE PELICULAS CON DEPOSITOS QUE TAMBIEN ADMITE LA DEPOSICION SELECTIVA DEL AL QUE CONTENGA SI.