发明名称 |
ETCHING LIQUID FOR TITANIUM NITRIDE AND TITANIUM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0813166(A) |
申请公布日期 |
1996.01.16 |
申请号 |
JP19940144208 |
申请日期 |
1994.06.27 |
申请人 |
NIPPONDENSO CO LTD |
发明人 |
INO KOJI;WATANABE YUSUKE;ABE KICHIJI;ITO MOTOKI;HYODO MOTOAKI |
分类号 |
C23F1/26;(IPC1-7):C23F1/26 |
主分类号 |
C23F1/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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