| 发明名称 |
SUBSTRATE TREATMENT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0810673(A) |
申请公布日期 |
1996.01.16 |
| 申请号 |
JP19940170122 |
申请日期 |
1994.06.28 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
ARAKI HIROYUKI;SHIRAKAWA HAJIME;MURAOKA YUSUKE |
| 分类号 |
B05C3/109;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):B05C3/109 |
主分类号 |
B05C3/109 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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