PLASMA CVD METHOD AND APPARATUS THEREFOR,申请号JP19940165751-传众专利搜索

发明名称	PLASMA CVD METHOD AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号	JPH0813151(A)	申请公布日期	1996.01.16
申请号	JP19940165751	申请日期	1994.06.27
申请人	RIKAGAKU KENKYUSHO;KAWASAKI HEAVY IND LTD	发明人	HARA TAMIO;HAMAGAKI MANABU;AOYANAGI KATSUNOBU;RIYUUJI MAKOTO;BAN MASAHITO;TOKAI MASAKUNI
分类号	C23C16/48;C23C16/50;H01J27/20;H01J37/08;H01J37/317;(IPC1-7):C23C16/50	主分类号	C23C16/48
代理机构		代理人
主权项
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