| 发明名称 |
DRYING OF RESIST FILM AND DEVICE THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0810693(A) |
申请公布日期 |
1996.01.16 |
| 申请号 |
JP19940173313 |
申请日期 |
1994.06.30 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
KANDORI TAKEFUMI;SATO SEIICHIRO |
| 分类号 |
F26B13/00;B05C9/14;B05D3/02;H01L21/027;(IPC1-7):B05D3/02 |
主分类号 |
F26B13/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
