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发明名称 VERFAHREN ZUR SELBSTREINIGUNG EINER REAKTIONSKAMMER
摘要
申请公布号 AT133006(T) 申请公布日期 1996.01.15
申请号 AT19880305874T 申请日期 1988.06.27
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 LAW, KAM SHING;LEUNG, CISSY;TANG, CHING CHEONG;COLLINS, KENNETH STUART;CHANG, MEI;WONG, JERRY YUEN KUI;WANG, DAVID NIN-KOU
分类号 C23C16/44;C23C16/509;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/314;C23C16/50;H01L21/00 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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