| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR REAKTIVEN OBERFLÄCHENBEHANDLUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT132203(T) |
申请公布日期 |
1996.01.15 |
| 申请号 |
AT19910105383T |
申请日期 |
1991.04.05 |
| 申请人 |
BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
FISCHER, HEINRICH |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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